硅晶片廠凈化工程公司設(shè)計裝修

硅晶片廠?空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計

 設(shè)計概況
      硅晶片是由硅材料加工而成的一-片片像鏡子一樣光亮的圓片，是生產(chǎn)半導(dǎo)體集成電路芯片的原材料。硅晶片生產(chǎn)包括硅單晶棒生產(chǎn)和硅晶片生產(chǎn)兩大部分，主要工序為:單晶棒生長- +單晶棒裁切和檢測-→外徑磨削-→切片- +倒角(圓邊) - +研磨/研磨片檢查→蝕刻(化學(xué)蝕刻、PC-CVD、AP-CVD等工藝) - +PTA 熱處理-背面損傷處理→拋光(ML粗拋、ML精拋)-→洗凈→品質(zhì)檢查-→凈化包裝。
從單晶棒生長到外徑磨削為硅單晶棒生產(chǎn)工序，切片以后的流程為硅晶片生產(chǎn)工序。
生產(chǎn)工序環(huán)境控制要求
      該硅片廠生產(chǎn)4~6in硅晶片，年產(chǎn)量為480萬片。硅晶片用于分立器件、功率元件和特種集成電路的制作。生產(chǎn)工序環(huán)境控制要求見表6-16。
凈化空調(diào)系統(tǒng)
1.空調(diào)系統(tǒng)
1)切片室、倒角室、研磨片室僅有溫度控制要求，設(shè)風(fēng)冷熱泵分體柜式空調(diào)機(PAC)來保證房間溫度要求。室內(nèi)機就近放置在車間內(nèi)，采用雙層百葉風(fēng)口側(cè)送風(fēng)方式;室外機放置在屋面上。切片室的排風(fēng)量較大，新風(fēng)采用直接蒸發(fā)式熱泵型屋頂空調(diào)機S1-1和S1-2來補充。因車間有防塵要求，風(fēng)冷熱泵分體柜式空調(diào)機回風(fēng)口處設(shè)中效空氣過濾器(大氣塵計數(shù)效率:對于≥lμm粒子應(yīng)≥60% ),屋頂式空調(diào)機需設(shè)兩級過濾器，如圖6-21所示。
2)爐室、BSD室僅有溫度控制要求，設(shè)風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)機(PAC)來保證房間溫度要求。室內(nèi)機就近放置在車間內(nèi)，采用方形散流器頂送風(fēng)方式;室外機放置在屋面上。新風(fēng)由相鄰無塵車間的正壓作用滲透而來。車間有防塵要求，于風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)機回風(fēng)口處設(shè)中效空氣過濾器(大氣塵計數(shù)效率:對于≥1μm粒子應(yīng)≥60%)。
3)磨片檢查室有溫度和濕度控制要求，設(shè)風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)機(PAC)來保證房間溫度要求，室內(nèi)機就近放置在車間內(nèi)，采用方形散流器頂送風(fēng)方式;室外機放置在屋面上。新風(fēng)經(jīng)新風(fēng)機組(MAU-1、 2)處理后，送到室內(nèi)，相對濕度由新風(fēng)機組保證，新風(fēng)機組與凈化系統(tǒng)共用。車間有防塵要求，于風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)機回風(fēng)口處設(shè)中效空氣過濾器(大氣塵計數(shù)效率:對于≥1μm粒子應(yīng)≥60%)，新風(fēng)機組內(nèi)設(shè)粗、中效空氣過濾器。
2.凈化系統(tǒng)
凈化系統(tǒng)用的新風(fēng)空調(diào)機組(MAU) 和循環(huán)空調(diào)機組(AHU)的冷媒采用6~ 11C的冷凍水，加熱采用0.2MPa的蒸汽，加濕采用0.1MPa的潔凈蒸汽，潔凈蒸汽由純水經(jīng)潔凈蒸汽發(fā)生器產(chǎn)生。
1) CP室凈化級別為7級，換氣次數(shù)取為30次/h, CP室工藝設(shè)備用酸量較大，采用全新風(fēng)空調(diào)機組(MAU-3) +高效空氣過濾器送風(fēng)口(HEPABOX) 的空調(diào)方式。其氣流流程為:新風(fēng)人口→粗效空氣過濾器+中效空氣過濾器-◆預(yù)加熱器+表冷器+加熱器- +潔凈蒸汽加濕- +送風(fēng)機- +送風(fēng)管-→高效空氣過濾器送風(fēng)口-潔凈區(qū)。
2) ML室凈化級別為7級，換氣次數(shù)取為30次/h,采用新風(fēng)機組(MAU) +循環(huán)機組(AHU) +高效空氣過濾器送風(fēng)口(HEPABOX) 的空調(diào)方式。新風(fēng)來自共用MAU-1、2新風(fēng)組。
3) CP/CVD室、 LP-CVD 室、凈化包裝間潔凈級別為6級，換氣次數(shù)取為50次/h,采用新風(fēng)機組(MAU) +循環(huán)機組(AHU) +高效空氣過濾器送風(fēng)口(HEPABOX) 的空調(diào)方式。新風(fēng)來自MAU-1、2新風(fēng)組。